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激光汽化切割：在高功率密度激光束的加热下，大约40%的材料汽化成蒸汽消失，60%的材料作为喷出物从切缝底部被辅助气体吹走，与空气中的细小颗粒结合，形成粉尘。
激光熔化切割：当入射的激光束功率密度超过某一值后，照射处的材料开始蒸发，形成孔洞，而光速周围的材料则被熔化。然后，与光速同轴的辅助气流把周围的熔融材料带走，形成烟尘。
激光氧化切割：材料表面在激光束的照射下，很快被加热到燃点温度，随之与氧气发生激烈的燃烧反应，放出大量热量，使材料内部形成充满蒸汽的小孔，而小孔的周围为熔融的金属壁包围所包围，这些蒸汽和熔融物质被辅助气流带走，漂浮在作业车间，形成粉尘和烟雾。